1. Aşındırma odasının nihai vakum derecesi: 9.0×10-5Pa'ya eşit veya daha az;
2. Aşındırma malzemeleri: silikon, kuvars, III.-V bileşikleri, seramikler ve çeşitli metaller, metalik olmayan sert filmler vb.;
3. Aşındırma hızı: 10 nm ~ 200 nm/dak'ya eşit veya daha büyük (spesifik aşındırma malzemesine ve işlemine bağlı olarak);
4. İyon kaynağı: Φ150mm çaplı dairesel DC iyon kaynağı;
5. Ar+ iyon enerji aralığı: 100~1000 eV;
6. İyon ışın yoğunluğu: 0~1 mA/cm2.