İyon Işını Destekli Biriktirme Buharlaşma Optik Kaplayıcı
Tanım
Bu, ultra yüksek hassasiyetli optoelektronik cihazların hazırlanmasına yönelik ileri teknoloji ekipmandır. Yüksek kaliteli optik kaplamaya odaklanan bu ürün, son derece düşük saçılma değerine ve kusur yoğunluğuna sahiptir. Lazer, optik iletişim, havacılık, biyomedikal, otomotiv optiği, MEMS sensörleri ve tava yarı iletkenleri gibi zorlu uygulamalarda yüksek hassasiyetli kaplama üretimi için uygundur.
Başvuru
Mavi cam ve beyaz cam IR-CUT, mavi cam ve beyaz cam AR, reçine lens AR, periskop dik açılı prizma vb.
Özellikler
- Seri üretim standart makine
- Gerçek zamanlı çevrimiçi monitör
- Tamamen otonom optik kontrol
- Açık süreç tasarımı
- RISE RF iyon kaynağı: iyon ışın akımı hassas ve kontrol edilebilir, uzun sürekli çalışma süresine sahip, çeşitli çalışma gazları için uygun ve film tabakasını kirletmiyor.
- Benzersiz plazma kaynağı: radyo frekansı sürücüsü, sarf malzemesi gerektirmeden çalışma, saf oksijen iyonları sağlama, belirli bantlarda mükemmel spektral göstergeler sağlama.
- Işık kontrollü: Işık kontrollü film oluşturma kontrol doğruluğu: Benzersiz bir yapı ve verimli optik yol tasarımı, ultra yüksek hızlı spektral verilerin gerçek zamanlı toplanması ve bağımsız olarak %0.1-0.3% akıllı ışık kontrollü çekirdek algoritması geliştirdi.
- Yenilikçi kontrol sistemi: Açık modüler sistem mimarisi, ARM'ye dayalı akıllı kontrol sistemi, dost insan-makine etkileşimi deneyimi, IoT ve bulut bilişim mimarisini destekler.
Teknik parametreler
|
Modeli |
OPIE1550 |
|
|
Vakum odası |
SUS304, φ1550mmx1600mm(Y) |
|
|
Vakum sistemi |
4 moleküler pompa +1 mekanik pompa seti/kök pompa ünitesi |
|
|
İş parçası rafı |
iş parçası disk çapı 1460 mm, dönme hızı 0-30 rpm |
|
|
Buhar kaynağı |
2 takım elektronik tabanca (çift tabanca, çift tarama, çift filaman, 270-derecelik ışın sapma açısı, güç 10KW) |
|
|
Biriktirme sistemi |
RISE radyo frekansı iyon kaynağı + özel plazma kaynağı (isteğe bağlı) |
|
|
Kontrol sistemi |
Vakum biriktirme akıllı kontrol sistemi |
|
|
İzleme sistemi |
Kristal film kalınlığı izleme sistemi |
özel gereksinimlere göre yapılandırılmış, standart yapılandırma |
|
Optik ince film gerçek zamanlı izleme sistemi |
kendi geliştirdiği optik kontrol sistemi (geniş spektrum, tek dalga boyu) isteğe bağlı |
|
|
Derin soğutma sistemi |
kompresör gücü 10KW, bobin soğutma sıcaklığı<-130°C |
|
Popüler Etiketler: iyon ışını destekli biriktirme buharlaşma optik kaplayıcı, Çin iyon ışını destekli biriktirme buharlaşma optik kaplayıcı üreticileri, fabrika
